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瀚天天成电子科技获得外延炉承载盘定位设备专利削减人为因素形成碳化硅外延晶片质量差的概率

发布时间: 2025-04-04 03:22:49 作者: 伟德betvlctor体育


  金融界2025年1月22日音讯,国家知识产权局信息数据显现,瀚天天成电子科技(厦门)股份有限公司获得一项名为“一种外延炉承载盘定位设备”的专利,授权公告号 CN 222313382 U,请求日期为2023年12月。

  专利摘要显现,本实用新型揭露 一种外延炉承载盘定位装 置,包含手柄、榜首定位部、 第二定位部,榜首定位部位 于第二定位部下方,榜首定 位部用于与外延炉的旋转基 座触摸匹配,第二定位部用 于与衬底承载盘触摸匹配, 榜首定位部与外延炉的旋转 基座触摸定位的一起将衬底承载盘拨动至与第二定位部触摸 以定位,以此来完成衬底承载盘与外延炉的旋转基座同轴。经过 以外延炉的旋转基座为辅佐,保证衬垫承载盘被拨动至正确位 置,削减人为因素形成碳化硅外延Wafer质量差的概率。

  天眼查资料显现,瀚天天成电子科技(厦门)股份有限公司,成立于2011年,坐落厦门市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册本钱38819.2129万人民币,实缴本钱38819.2129万人民币。经过天眼查大数据分析,瀚天天成电子科技(厦门)股份有限公司共对外出资了1家企业,参与招投标项目53次,知识产权方面有商标信息20条,专利信息66条,此外企业还具有行政许可67个。

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